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   在集成電路芯片和液晶顯示器生產(chǎn)的行業(yè)中,生產(chǎn)工藝需用的種種無(wú)機化學(xué)品藥液（主要包羅各種酸、堿、鹽等）需要通過(guò)管道運送到工藝裝備，這些化學(xué)品藥液中具有強腐蝕性、易燃性、易爆性和劇毒性等危害，為防止化學(xué)品管道的運送歷程對人、裝備造成危險以及對環(huán)境造成的污染，保證電子工業(yè)廠(chǎng)房化學(xué)品管道平安有用運送，要求此類(lèi)管接納雙套管的施工方式,而傳統的雙套管施工工藝是透明PVC管內穿PP管或PVDF管的硬管施工方式。

   本工藝接納了透明PVC管內穿PFA軟管的施工方式，即管道系統包羅內外管兩層管道,內管接納四氟乙烯與全氟烴基乙烯醚的共聚物的軟質(zhì)管道(分PFA/PVDF/ECTFE等系列),內管為運送化學(xué)品的管道，外管接納透明PVC管道，為珍愛(ài)管道。

 運送管道規格一樣平常為DN10、20、25、50 (1/4”、3/4”、1”、2”)的焊接型PFA管材及其管件，管道、附件均通過(guò)專(zhuān)用PFA焊接機舉行焊接，與裝備毗鄰通常為法蘭毗鄰。

系統組成：

 系統一樣平常由設于化學(xué)品間外墻的吸收裝置、化學(xué)品間內的化學(xué)品吸收儲罐、供應裝置、化學(xué)品供應管路組成，。

a．化學(xué)品吸收裝置，設置在化學(xué)品間內，于外墻設有吸收窗，直接將室外化學(xué)品槽車(chē)的化學(xué)品吸收，并注入藥品儲罐內；

b．尺度化學(xué)品吸收儲罐，置于化學(xué)品間地下基礎之上，儲存化學(xué)品；

c．化學(xué)品供應裝置，置于化學(xué)品間內，向使用裝備供應化學(xué)品；

d．化學(xué)品供應管路，自吸收裝置至化學(xué)品儲罐，再由化學(xué)品儲罐至化學(xué)品供應裝置。由外衣管及內管組成，外管均為透明PVC管，內管由焊接型PFA管及PFA彎頭組成。這類(lèi)管道一樣平常用于吸收裝置至化學(xué)品吸收儲罐至供應裝置的管路。

1、方式特點(diǎn)：

1.1內穿軟管的管道系統由兩層組成：內層為四氟乙烯與全氟烴基乙烯醚的共聚物的PFA軟質(zhì)管道（以下簡(jiǎn)稱(chēng)PFA軟管），外層為透明PVC的管道。內穿PFA軟管為運送無(wú)機化學(xué)品的流通的管道,外層透明PVC管道為珍愛(ài)管路，對防止化學(xué)品自?xún)却┸浌苄孤镀鸬狡琳献饔?/span>。

1.2外層透明PVC的管道安裝完畢，并舉行試壓及格后，再舉行內管PFA軟管的穿管施工。

1.3 外層透明PVC管的透明效果增強可視性；PFA軟管為整卷（通常有100米和200米的長(cháng)度規格），通常中心無(wú)討論，直接在透明PVC管內穿管。

1.4 本工法將管路內、外管的施工工序有機的組合，確保施工高效、有序，也能保證施工質(zhì)量，降低了施工成本同時(shí)保障了管道系統的平安。

2、適用局限：

  　　適用于電子工業(yè)廠(chǎng)房的集成電路制造、液晶顯示板制造等行業(yè)，生產(chǎn)工藝中使用無(wú)機化學(xué)品運送且內管為PFA軟管的管路系統的施工3、工藝原理：

3.1 外層透明PVC管道直接接納專(zhuān)用PVC膠水粘接。

3.2 管道系統無(wú)三通分支，管道系統的閥門(mén)均設置在裝備箱體或專(zhuān)用閥門(mén)箱內。透明PVC管道彎頭接納熱風(fēng)煨彎制作，直線(xiàn)段透明PVC管道的毗鄰接納管箍毗鄰，管箍的承口與PVC管道插口接納專(zhuān)用膠水粘接，從而使外層珍愛(ài)管形成一個(gè)成型的整體。

3.3 透明PVC管道安裝完畢并試壓及格后，即可舉行PFA軟管的穿管施工。

     通過(guò)上述兩道主要工序，使整個(gè)管路形成外管套內管的雙重管形式—-PVC管道內穿PFA軟管的組合管道，內管為運送無(wú)機化學(xué)品的PFA軟質(zhì)管道,外管為透明PVC珍愛(ài)管道，防止化學(xué)品自?xún)裙苄孤稌r(shí)發(fā)生危害。外管接納透明PVC管套于PFA軟內管外部，具有優(yōu)越的可視性，一旦內管發(fā)生泄露，外衣管即可起珍愛(ài)作用，又利便透過(guò)外衣管實(shí)時(shí)觀(guān)測到內管發(fā)生了泄露，實(shí)時(shí)舉行維修，削減危險。

4、施工工藝流程及操作要點(diǎn)：

4.1施工工藝流程

  吸收裝置、吸收貯罐、供應裝置就位—一支架制作安裝—一內管焊接、外衣管粘接，雙人雙吹風(fēng)淋室—一內管彎頭焊接—— 外衣管彎頭焊接—一內管試壓——外衣管試壓—一洗濯--試運行--裝備安裝

裝備安裝就位必須相符設計要求及有關(guān)尺度規范的劃定，裝備就位驗收后，方可舉行配管事情。

內管焊接時(shí)，外衣管險些同步安裝，內管直管毗鄰完畢，外衣管也隨即套于內管外部完成。僅在彎頭處預留暫不安裝。外衣管的直管毗鄰為直二通粘接，具體要求同前所述。外衣管的彎頭為制品承插彎頭R：1.5D，待內管彎頭焊接完畢后，將外衣管承接彎頭對稱(chēng)剖成兩半，然后扣子內管彎頭外，并與外衣管兩頭粘接，對剖縫用熱風(fēng)焊槍及PVC焊條焊接回復，作法同通俗PVC塑料熱風(fēng)焊。內管直管及彎頭、法蘭焊接前，先將待焊的兩個(gè)端口相對固定在焊接裝備夾具內，兩個(gè)端面之間的間隙內設一塊雙面加熱板，該加熱板加熱時(shí)不與管道端面接觸，通過(guò)熱輻射使兩頭面到達熔化溫度，這項操作是靠作業(yè)員目視掌握，判斷端面是否已經(jīng)熔化，當熔化水平合適時(shí)，立刻撤去加熱板。迅速使兩個(gè)端面接觸并施加一定壓力，使管端熔化物流動(dòng)，它能形成夾雜與熔接，當冷卻后，原始接觸面消逝了，同時(shí)，兩個(gè)端面連系在一起了，焊縫始終不發(fā)生轉變。

   焊接注重要點(diǎn)如下:

a．焊接操作場(chǎng)所應潔凈、干燥，而且具有優(yōu)越的通風(fēng)裝備（因加熱時(shí)會(huì )發(fā)生有害氣體）。

b．不得將加熱板任何一面，因加熱時(shí)接觸管端而發(fā)生污損，應制止觸及管端。

c．管子的切割應接納帶棘輪的專(zhuān)用切割刀切割管子。

d．焊接歷程中，接口不得錯位。

e．始終保持PFA管潔凈。

   管道與裝備毗鄰，一樣平常接納法蘭毗鄰，法蘭與管子接納焊接毗鄰，要求如前所述，管法蘭與裝備接口法蘭的毗鄰方式與通俗法蘭毗鄰方式相同。

    內外管道的試壓要求均如前所述。

4.2 操作要點(diǎn)

4.2.1管道走向標高的丈量

 憑據設計圖紙，對管道系統舉行優(yōu)化設計，管道的走向和標高上應只管避開(kāi)下方的裝備、配電盤(pán)等，保持與熱水管道、蒸汽管道等足夠的平安距離，以防止透明PVC管道發(fā)生軟化。通過(guò)走向與標高的丈量，確定了支吊架位置與數目，并確定管線(xiàn)長(cháng)度與預先熱煨PVC彎頭的數目。

4.2.2透明PVC管道支架制作安裝

透明PVC管道作為外珍愛(ài)管，通?？趶?strong style="max-width: 100%;box-sizing: border-box !important;overflow-wrap: break-word !important;">有DN32和DN40兩種規格，支吊架橫擔通常接納鍍鋅或不銹鋼C型鋼（40*40）制作，端頭應倒角，并接納專(zhuān)用塑料套封堵，支吊架間距不得大于1.5米。

4.2.3 透明PVC彎頭熱風(fēng)煨制

  當透明PVC管被80℃的熱風(fēng)加熱2分鐘即可變軟，透明PVC彎頭熱煨：在熱風(fēng)加熱時(shí)，煨彎要同步舉行以保證PVC管道在彎頭處截面的圓度，當PVC管道加熱到管體變得柔韌時(shí)即可舉行煨彎了。同時(shí)在煨好的部位實(shí)時(shí)用沾有冷水的潔凈布冷卻管道，以便實(shí)時(shí)成型。彎頭的彎曲半徑宜大于0.5米，以減小PFA軟管穿管的阻力。

  　　接納電熱風(fēng)槍熱煨時(shí)，電熱風(fēng)槍要不停地轉動(dòng)和擺動(dòng)，不得將管道加熱得發(fā)黃或烤焦，管道受熱要平均。

  　　固然，透明PVC管道也可以接納開(kāi)水加熱或烘箱加熱等。

4.2.4透明PVC管道安裝

  　　透明PVC管道與管箍事情溫度為-20℃-100℃之間，內外壁滑膩，耐強酸強堿、耐紫外線(xiàn)照射。質(zhì)量輕，接納專(zhuān)用冷膠粘接法，施工簡(jiǎn)捷，接口不宜漏。管壁厚耐壓能力強等優(yōu)點(diǎn)而在電子工業(yè)廠(chǎng)房的無(wú)機化學(xué)品管道系統中普遍接納，透明PVC管道安裝流程包羅

（1）接納專(zhuān)用PVC割刀下料；

（2）接納PVC專(zhuān)用倒角器將管口倒角；

（3）管口接納潔凈布沾上專(zhuān)用潔凈劑洗濯以保證膠水與管道的粘合，待洗濯劑揮發(fā)完畢即可涂膠，涂膠時(shí)管道承口和管箍插口均均布涂膠，守候約30秒即可承插毗鄰，承插長(cháng)度以承口深度為準，事前務(wù)必丈量承口深度，并在插口端做好符號，以保證盡可能大的粘接面；

（4）將透明PVC管道接納管卡固定于支吊架上。

4.2.5 透明PVC管道壓力測試

將管道兩頭密封，接納自動(dòng)壓力圓盤(pán)紀錄儀舉行壓力試驗，試驗壓力為0.4MPa,試驗介質(zhì)宜接納高純氮氣，以24小時(shí)內，測壓紀錄儀紀錄的圓周無(wú)顛簸為及格。

4.2.6 透明PVC管道與裝備毗鄰

  　　透明PVC管道試壓及格后，即可將兩頭與裝備的腔體外殼毗鄰起來(lái)，同樣接納冷膠粘接。這樣就可以保證PFA軟管（內管）在一個(gè)連同裝備腔體和PVC管道的密閉的空間內了。

4.2.7 PFA軟管穿管安裝

  　　PFA軟管是四氟乙烯與全氟烴基乙烯醚的共聚物，該質(zhì)料具有優(yōu)良的可塑性、能耐強酸強堿、機械強度好、管壁滑膩、摩擦力小，適用溫度局限-200℃至 260℃，其常用口徑規格通常為3/4＂、1/2＂、3/8＂和1/4＂四種規格，其定尺長(cháng)度有100m和200m。

  　　 PFA管的穿管施工是從裝備箱體或閥門(mén)箱體的一端最先,接納手工送管的方式。因PFA軟管具有一定的撓度和強度，通常不會(huì )在透明PVC管內受太大的阻力。穿管施工重點(diǎn)注重事項：（1）PFA管穿管前，需將端頭用潔凈薄膜封堵，防止管道內部進(jìn)入灰塵顆?；蛴臀?。（2）在彎曲半徑過(guò)小時(shí)，PFA軟管容易變折或變癟，在穿管時(shí)務(wù)必小心，嚴禁將變折或變癟PFA軟管繼續使用。（3）嚴禁金屬銳器劃傷PFA軟管。

4.2.8 PFA軟管的壓力測試：

  　　 將PFA軟管一端密封，另一端毗鄰自動(dòng)壓力圓盤(pán)紀錄儀，在自動(dòng)壓力圓盤(pán)紀錄儀毗鄰的暫且PFA軟管段設置三通和閥門(mén)，以便充入高純氮氣舉行壓力試驗，試驗壓力為0.4MPa，以24小時(shí)內，紀錄儀紀錄的圓周曲線(xiàn)平滑、無(wú)顛簸為及格。

4.2.9 PFA軟管與裝備端或閥門(mén)箱內閥門(mén)的毗鄰

  　　PFA軟管與裝備毗鄰方式：將PFA軟管用端頭加熱，接納專(zhuān)用擴口

  　　PFA軟管用端頭加熱 PFA軟管擴口器擴口，待自然冷卻后，取下擴口器，擴口成型、然后形成化學(xué)品管道。

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全304不銹鋼風(fēng)淋室，全201不銹鋼風(fēng)淋室，全鋼板烤漆風(fēng)淋室，外201內304不銹鋼風(fēng)淋室，外鋼板開(kāi)啟內不銹鋼風(fēng)淋室

。

1、風(fēng)淋室是人員進(jìn)入潔凈室、無(wú)塵車(chē)間所必備的除塵凈化設備，其通用性強，可與所有的潔凈室和潔凈廠(chǎng)房配套使用。 2、工作人員進(jìn)入車(chē)間時(shí)，必須通過(guò)此凈化設備，用超強勁已過(guò)濾潔凈的空氣，由360°可旋轉噴嘴從各個(gè)方向噴射至人或貨物身上，從而有效而迅速的清除附著(zhù)在衣服上和貨物上面的灰塵、頭發(fā)等雜物，它可以減少人進(jìn)出潔凈室所帶來(lái)的污染問(wèn)題。 3、全自動(dòng)風(fēng)淋室的兩道門(mén)電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進(jìn)入潔凈區域。 4、杜絕工作人員將頭發(fā)、灰塵、細菌帶入車(chē)間，達到工作場(chǎng)地嚴格的無(wú)塵凈化標準，滿(mǎn)足生產(chǎn)環(huán)境污染要求，生產(chǎn)出高質(zhì)量的產(chǎn)品。,

  　　PFA管道轉換討論和彎頭的螺帽內的部門(mén)均是滑膩的中空的球形柱狀接觸面，PFA管擴口后，可插入球形柱狀討論上，然后行使螺帽將擴口后的PFA軟管牢牢的鎖在討論上（不需要墊片）。

注重：PFA討論的螺帽需要事拆下，在PFA軟管前擴口時(shí)套在PFA軟管上

4.2.10 管線(xiàn)檢查:

a.管線(xiàn)檢查前管道標簽、化學(xué)品裝備標示需完成；

b.憑據系統流程、系統布置圖、質(zhì)料規格表舉行管線(xiàn)檢查；

c.施工小組自檢完成后交于質(zhì)量賣(mài)力人舉行檢查；

d.管線(xiàn)檢查以系統為基礎；檢查后紀錄存檔；

4.2.11 管線(xiàn)吹掃

1. 管道吹掃方案（化學(xué)品種類(lèi)，順序，方式，平安措施）由質(zhì)量賣(mài)力人制訂；

2. 吹掃使用液體不得污染管道系統純度；

3. 吹掃方式基本原則為階段性連續吹掃，確保管線(xiàn)內殘留液體最少

4. 管線(xiàn)吹掃以系統為基礎；執行后紀錄存檔；

4.2.12 管線(xiàn)沖洗:

1. 管道沖洗方案（化學(xué)品種類(lèi)，順序，方式，平安措施）由質(zhì)量賣(mài)力人制訂；

2. 沖洗管線(xiàn)使用的介質(zhì)純度確保不會(huì )影響管路的測試規格；

3. 沖洗方式基本原則為純水、化學(xué)品交替沖洗；

4. 管線(xiàn)沖洗以系統為基礎；執行后紀錄存檔；

4.2.13 驗收移交

  系統所有管道毗鄰完畢、支吊架確認、壓力試驗檢查及格、相關(guān)移交表格準備完成后即可舉行驗收、移交事情。

5、質(zhì)料與裝備

5.1施工稀奇說(shuō)明的質(zhì)料見(jiàn)表5-1。

表5-1 質(zhì)料表

序號 名稱(chēng) 規格型號 數目 備 注

1、透明PVC管 DN32、DN40 由施工圖確定數目

2、透明PVC管箍、 DN32、DN40

3、PVC膠水、潔凈劑

4、PFA軟管 3/4＂、1/2＂、3/8＂、1/4＂

5、PFA管討論 3/4＂、1/2＂、3/8＂、1/4＂

6、鍍鋅C型鋼（支架制作） 40*40

5.2接納的機具裝備見(jiàn)表5-2。

表5-2 機具裝備表

序號 名稱(chēng) 規格型號 數目 備 注

1.電熱風(fēng)槍 1000W 由工程量確定數目

2.PVC割刀 1/2″~2″

3.電動(dòng)帶鋸 2″~8″ 用于支架制作

4.倒角器 1/2″~2″

5.自動(dòng)壓力圓盤(pán)紀錄儀 ZY-1500 日產(chǎn)

6.PFA管擴口器 1/4″~3/4″

7. 角尺 200~300mm

8. 卷尺 5M/7.5M

9.鋼瓶裝高純氮氣 999995%

6．質(zhì)量控制

6.1 工程質(zhì)量控制要求

6.1.1質(zhì)料應該儲存在干燥潔凈的環(huán)境下，在拆除包裝之后應制止灰塵，如不立刻使用應重新包裝密封。

6.1.2所使用的膠水必須耐酸防腐蝕而且不能影響管線(xiàn)毗鄰牢靠，雅觀(guān)。

6.1.3管在加熱彎管時(shí)，應注重加熱時(shí)間以免管線(xiàn)扭曲變形。

6.1.4施工歷程中，透明PVC管道配管應保持橫水平豎垂。

6.1.5在管與管之間毗鄰時(shí)應把膠水涂抹平均并稍微旋轉。

6.1.6管道的穿墻孔在施工完畢后必須以防火質(zhì)料填塞封堵。

6.1.7在拆除包裝取量使用后應立刻將管口密封并恢復整體包裝。

6.1.8 應制止擠壓和用力，以免折斷變形。在施工使用時(shí)應檢查有無(wú)損壞，以免酸液泄露造成人身危險。

6.1.9管線(xiàn)切割時(shí)要使用專(zhuān)業(yè)工具，用力平均并旋轉切割防止管口變形，管線(xiàn)端口不能泛起毛刺并必須保證水平。

6.1.10安裝PFA管線(xiàn)要求在潔凈的環(huán)境下，接觸PFA管道的時(shí)刻必須戴無(wú)塵手套。

6.1.11在穿管時(shí)隨時(shí)注重PFA管線(xiàn)有無(wú)損壞，穿插完成后目測檢查PFA管線(xiàn)有無(wú)折損或變癟。

6.1.12在PFA管安裝完成后如不能實(shí)時(shí)毗鄰裝備需將管子兩頭密封，等條件允許時(shí)再舉行毗鄰。

6.1.13透明PVC管道的施工質(zhì)量執行《給水排水管道工程施工及驗收規范》。

6.2 質(zhì)量保證措施：

6.2.1確立完善的質(zhì)量保證體系和崗位責任制，就每道工序設置專(zhuān)人賣(mài)力，明確職責，落實(shí)到人；

6.2.2質(zhì)料進(jìn)場(chǎng)磨練、保管、運輸必須嚴格把關(guān)，確保質(zhì)料的質(zhì)量；

6.2.3所有工序磨練必須做好書(shū)面紀錄，確保及格品進(jìn)入下道工序。

  接納透明PVC管內穿PFA軟管的施工工藝，較之于傳統的透明PVC管內穿硬管（PP管或PVDF管）而言，PFA軟管為制品卷材，穿管歷程中無(wú)討論，大大提高了管路運行的平安性.

  　該種管路做法適用于無(wú)機化學(xué)品有硫酸、氫氟酸、氫氧化氨、硝酸、氫氧化鈉、硫酸銅等，廠(chǎng)房?jì)?strong style="max-width: 100%;box-sizing: border-box !important;overflow-wrap: break-word !important;">無(wú)機化學(xué)品運送系統均可接納透明PVC管內穿PFA軟管的施工手藝，可為生產(chǎn)提高優(yōu)越的品質(zhì)保障。下圖是某公司HF化學(xué)品供應流程圖：