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風(fēng)淋室在MEMS試驗平臺上的應用.

最近，deiiang在朋友的指導下參觀(guān)了MEMS試驗平臺.

據相關(guān)負責人介紹，近千平方米的風(fēng)淋室是微機電制造的主戰場(chǎng)，根據工藝流程分為光刻區、蝕刻區、薄膜區、擴散區、注入區和封裝試驗區.

筆者在160套以上的一流制造機之間來(lái)回奔波，高大上的氣息撲面而來(lái).

而且，在進(jìn)入這個(gè)工廠(chǎng)之前，必須通過(guò)風(fēng)淋室進(jìn)行風(fēng)淋除塵后才能進(jìn)入.

MEMS中試平臺整體的潔凈度等級分為class10、100、1000、10000、10000，潔凈度最嚴格的是光刻區，根據標準，即使是看不見(jiàn)肉眼的灰塵，一立方米的空氣中最多只存在幾粒.

，，在MEMS中，試驗平臺的專(zhuān)業(yè)性也反映在對環(huán)境的嚴格要求上.

溫度應始終保持在23度，上下不應超過(guò)1度，濕度應為45%，上下不應超過(guò)5%.

進(jìn)入該平臺的心臟——潔凈室前，所有人都必須須一套防塵服，手套、口罩當然也需要裝備.

不要以為這樣就可以簡(jiǎn)單地進(jìn)入.

身份登記和隨身物品清洗后，為了確保掃除塵土，必須面對手臂風(fēng)淋室中的8個(gè)風(fēng)淋?chē)娮爝M(jìn)行10秒的吹風(fēng)清洗.

，保持潔凈，除了實(shí)時(shí)監控和定期潔凈，還有一個(gè)隱藏在地板下面的秘密.

其實(shí)我們現在看到的機臺只有冰山一角，其附屬設備中也有埋入在地板下的，例如冷卻機、氣箱、泡沫管等.

工作人員表示，將機臺部分身體埋起來(lái)，可以有效減少灰塵的堆積.

仔細觀(guān)察，地板上分布著(zhù)很多小孔.

這些小孔是為了使灰塵隨著(zhù)空氣層從上到下流向地下排出的獨特設計.

這也是潔凈室中最常見(jiàn)的送風(fēng)方式，隨時(shí)隨著(zhù)各種潔凈度要求的提高，對MEMS試驗平臺的潔凈要求也比較高，這要求組合使用的風(fēng)淋室必須滿(mǎn)足相關(guān)要求.